從廣東省質量技術監督局官網獲悉，隨著納米科技及微加工領域的發展，對微米到納米尺度范圍的測試精度要求也越來越高，廣東計量院緊緊圍繞領域發展需要，針對性地開展實用性計量科研工作，實現了各種掃描電子顯微鏡（SEM）、透射電子顯微鏡、X射線衍射儀、等微納精密分析儀器量值的準確溯源。本文由上海法鳴流體設備有限公司轉載發布。上海法鳴流體專業代理意大利CIMM進口膨脹罐,進口穩壓罐,進口壓力罐,進口氣壓罐,定壓補水裝置等在中國的銷售，歡迎訪問官網查詢具體產品信息。

一是解決量傳溯源問題。完成了國家質檢總局科研項目“微納米薄膜厚度的量值溯源及膜厚測量儀器校準技術研究”和省科技廳科研項目“微納米尺度薄膜臺階標樣及膜厚量傳體系研究”，成功研制出微納米線寬標準樣板、納米臺階高度標準樣板、薄膜厚度標準樣品等，可用于掃描電子顯微鏡、掃描探針顯微鏡、X射線熒光測厚儀的校準。并在此基礎上在國內率先建立掃描探針顯微鏡、X射線熒光測厚儀校準兩項大區級計量標準，基本解決了華南地區該類微納尺度儀器的溯源問題。

二是技術水平接軌國際基準。積極參與國家科技支撐計劃項目“微納技術計量標準和標準物質研究”，協助國家計量院開展計量型掃描電鏡及雙探針掃描探針顯微鏡標準測量裝置的研究，在國內首次實現掃描電鏡的測量結果直接溯源至國際米定義激光波長基準，同時利用雙探針測量模式，突破探針顯微鏡的測量盲區，實現了真三維納米結構的準確測量。

三是服務產業促轉型升級。經校準的掃描電子顯微鏡、X射線熒光測厚儀等高端分析儀器，有利于促進企業控制產品質量、高效生產和研發。目前，已為華南地區的微電子、超精密加工、新材料以及汽車制造產業等領域共150多家企業提供了有效的量傳溯源服務，為TCL王牌電器、深圳比亞迪汽車、廣州本田汽車、鴻富晉精密工業等知名企業產品的轉型升級提供了有效技術支撐。如國家級高新技術企業深圳華星光電在液晶顯示面板的研發過程中存在精密元器件量值不確定的問題，一直沒有攻關成功，后經廣東計量院對其微觀分析儀器進行了校準和溯源服務，確保儀器測量結果的準確可靠，促成了該企業高端液晶面板的開發。 (郭雯雯)